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設(shè)備簡(jiǎn)介

DLC增強(qiáng)型類金剛石涂層設(shè)備是我公司自主研發(fā)生產(chǎn)的另一款類金剛石鍍膜設(shè)備，這款設(shè)備可選配陰極電弧、增強(qiáng)彎管磁過濾電弧、磁控濺射、離子源、燈絲等等離子體技術(shù)于一臺(tái)設(shè)備上，結(jié)合智能擋板和可移動(dòng)式工件轉(zhuǎn)架，既能制備DLC（a-C:H）涂層,又可以制備ta-C涂層。廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車工業(yè)、切削刀具、模具及有低摩擦系數(shù)要求的零部件。

設(shè)備特點(diǎn)

• 高能量等離子體清洗、刻蝕，提高涂層結(jié)合力    
• 電磁場(chǎng)交互作用提高離化率
• 增強(qiáng)彎管磁過濾電弧，通過彎管磁場(chǎng)可以很好地過濾電弧產(chǎn)生的液滴，膜層表面更細(xì)膩
• 磁控濺射靶材利用率高
• 既可制備含氫DLC涂層，又可制備ta-C涂層
• 工藝程序高度重復(fù)運(yùn)行
• 穩(wěn)定的控制系統(tǒng)，使操作更輕松
• 遠(yuǎn)程智能操控和診斷功能

設(shè)備參數(shù)

涂層參數(shù)