設(shè)備簡介
MIC離子氮化+PVD涂層設(shè)備是我公司新近研發(fā)生產(chǎn)的一體化鍍膜設(shè)備,這款設(shè)備采用新型大面積陰極電弧、磁控濺射、IET刻蝕輔助技術(shù)、離子源、離子氮化等鍍膜技術(shù),可以實現(xiàn)離子氮化加PVD涂層在同一制程中完成。這種雙工藝的組合使涂層表面具有更高的硬度,同時降低磨損。可廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車工業(yè)、切削刀具、模具及零部件。
設(shè)備特點
- 離子氮化+PVD涂層一體化
- 滲氮速度快,2-3小時氮化深度可達到40-60微米
- 滲氮深度和結(jié)構(gòu)的可控性強
- 無氮化白層,涂層結(jié)合力好
- 工藝程序高度重復(fù)運行
- 穩(wěn)定的控制系統(tǒng),使操作更輕松
- 遠程智能操控和診斷功能
設(shè)備參數(shù)
設(shè)備型號 |
MIC-N900 |
MIC-N1200 |
MIC-N1800 |
有效涂層區(qū)域 |
∅700×600 |
∅700×900 |
∅700×1500 |
可選配置 |
大面積陰極電弧、磁控濺射、離子氮化、離子源、燈絲、偏壓 |
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涂層工藝時間 |
10-14h |
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涂層類別 |
TiN、CrN、TiCN、AlTiN、AlCrN、AlTiSiN、AlCrSiN等 |
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系統(tǒng)最高溫度 |
500℃ |
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沉積溫度 |
<500℃ |
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最大載荷重量 |
1000Kg/2000Kg |
涂層性能參數(shù)
涂層類型 |
涂層厚度(μm) |
涂層硬度 (HV) |
工作溫度 (℃) |
工藝周期 (h) |
耐高溫氧化 |
耐腐蝕性 |
氮化涂層一體 |
8-12 |
3000-3500 |
460-480 |
10-14 |
優(yōu) |
優(yōu) |